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ÀÛ¼ºÀÚ : ÇѾç´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ(help@hanyang.ac.kr)   ÀÛ¼ºÀÏ : 21.12.22   Á¶È¸¼ö : 456

ÇѾç´ëÇб³-»ï¼ºÀüÀÚ 2021 »êÇÐÇù·Â ³í¹® °æÁø´ëȸ¿¡¼­ ÇѾç´ëÇб³ Àü±â∙»ýü°øÇкΠÀü±â°øÇÐÀü°ø Á¤Áø¿í ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀ ÀÓ¿µ¹Î Çлý(¹Ú»ç°úÁ¤)ÀÌ ¿ì¼ö»óÀ» ¼ö»óÇß´Ù. ¼ö»ó ³í¹®¸íÀº ¡®A wafer-like apparatus for two-dimensional measurement of plasma parameters and temperature distribution in low-temperature plasma¡¯À¸·Î, 2Â÷¿ø ÇöóÁ º¯¼ö ¹× ¿þÀÌÆۿµµ µ¿½Ã ÃøÁ¤°ú »ó°ü °ü°è¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ð´Ù. ³í¹®¿¡¼­, À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ ¿þÀÌÆÛ ¸ð´ÏÅ͸µ Àåºñ´Â ¿þÀÌÆۿµµ¸¦ ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇØ ¹é±Ý ÀúÇ× Å½Áö±â¸¦ »ç¿ëÇß´Ù. ¿­À¯¼ÓÀº ÇöóÁ ¹Ðµµ¿Í ÀüÀÚ ¿Âµµ¿¡¼­ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ°í, ÇöóÁÀÇ ¹Ðµµ¿Í ÀüÀÚ ¿Âµµ´Â floating harmonics ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇØ ¾ò´Â´Ù. ¿¬±¸¿¡¼­´Â ¿þÀÌÆۿµµ¿Í ÇöóÁ ¹Ðµµ, ÀüÀڿµµÀÇ 2Â÷¿ø ºÐÆ÷°¡ À¯µµ °áÇÕ ÇöóÁ¿¡¼­ óÀ½À¸·Î µ¿½Ã¿¡ ¾ò¾îÁø´Ù°í ¼­¼úÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ¿þÀÌÆۿµµ¿Í À¯ÀԵǴ ¿­·®ÀÇ ÀÌÂ÷¿ø ºÐÆ÷¿¡¼­´Â ÀϺΠÂ÷ÀÌ°¡ Á¸ÀçÇÏÁö¸¸ ¿¡³ÊÁö ±ÕÇü ¹æÁ¤½ÄÀ» ¼³Á¤ÇÏ¿© °³¹ßÇÑ ¿þÀÌÆÛÇü ¸ð´ÏÅ͸µ ÀåºñÀÇ ½ÇÇè °á°ú°¡ ÀÏÄ¡ÇÔÀ» º¸¿´´Ù. ÀÌ´Â ÇöóÁ 󸮸¦ ÇÒ ¶§, ¹Î°¨ÇÑ Ç¥¸é ¹ÝÀÀÀ» ÀÌÇØÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ̶ó ±â´ëµÈ´Ù

 

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