ÇѾç´ëÇб³ ½Å¼ÒÀç°øÇаú ¹ÚÁø¼º ±³¼ö¿Í Àç·áÈÇаøÇаú ¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö°¡ Áö³ 16ÀÏ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÑ ¿¬±¸¡¤°³¹ßÀÚ¿¡ ÁÖ¾îÁö´Â '¸ÓÅ© ½ºÆä¼È ¾î¿öµå'ÀÇ ¼ö»óÀÚ·Î ¼±Á¤µÆ´Ù.
¹ÚÁø¼º ±³¼ö´Â ÇѾç´ë Á¤º¸¼ÒÀ硤ÀüÀÚ¼ÒÀÚ ¿¬±¸½ÇÀåÀ» °âÁ÷Çϸç IEEE Transactions on Electron DevicesÀÇ ÆíÁýÀåÀ» ¸Ã°í ÀÖ´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ÷´Ü ALD¿Í CVD(ÈÇбâ»óÁõÂø) ¹Ú¸· ÀÀ¿ëÀ» À§ÇÑ ÇٽɼÒÀç ¿¬±¸¸¦ À̲ø¾ú´Ù. ¶ÇÇÑ, µð½ºÇ÷¹ÀÌ µð¹ÙÀ̽º¿ë Åõ¸íÀü±Ø¼ÒÀ糪 'ÆûÆÑÅÍ ÇÁ¸® µð½ºÇ÷¹ÀÌ µð¹ÙÀ̽º'¸¦ À§ÇÑ ¼ÒÀç ¹ß±¼¿¡ ±â¿©Çß´Ù.
¹ÚÁø¼º ±³¼ö´Â "ALD ¼ÒÀç¿Í °øÁ¤À¸·Î ¸ÓÅ© ½ºÆä¼È ¾î¿öµå¸¦ ¹Þ°Ô µÇ¾î ¸Å¿ì ¿µ±¤À̸ç, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ±â¿©ÇϽŠÀü ¼¼°èÀÇ ¼±¹è¿Í ÈĹè ALD ¿¬±¸ÀÚ ºÐµé¿¡°Ô ±íÀÌ °¨»çÇÑ´Ù"¶ó°í ÀüÇß´Ù. µ¡ºÙ¿©, "ALD ¼ÒÀç¿Í °øÁ¤À» ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷°è¿¡ Æø³Ð°Ô Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù"¶ó°í ¼ö»ó¼Ò°¨À» ¹àÇû´Ù. ÇÑÆí, ¹Ú ±³¼ö´Â Çѱ¹ Á¤º¸µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÐȸÀÇ º¸µå¸â¹ö·Î µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ²ÙÁØÈ÷ ±â¿© ÁßÀÌ´Ù.
¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö´Â ³ª³ë¼ÒÀÚ °øÇבּ¸½Ç, ¿øÀÚ¼öÁØ °øÁ¤¡¤½Å¼ÒÀÚ¡¤Ã·´Ü ALD¿¬±¸¼¾ÅÍ, ÇѾç´ëÇб³ IUCC¿Í ÇÔ²² Çѱ¹ÇмúÁøÈïÀç´ÜÀÇ ¿µ¿ª¼±ÅÃÀû ¿øÀÚÃþ°øÁ¤¼¾ÅÍ¿¡¼ ¿¬±¸ ÁßÀÌ´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ±×µ¿¾È ALD ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇØ¿Â ¼º°ú¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ¿ÃÇØ ¼ö»óÀÚ·Î ¼±Á¤µÆ´Ù. ƯÈ÷ Çѱ¹ÀÇ ÀþÀº ALD Àü¹®±³¼öµéÀ» À̲ø¸ç ¹èÅ͸®¿Í CMP ½½·¯¸®¸¦ À§ÇÑ ºÐ¸» ALD °øÁ¤ ¿¬±¸¿¡ ¸ÅÁøÇØ¿Ô´Ù. ¹ÚÅÂÁÖ ±³¼ö´Â "À̹ø ¼ö»óÀÌ ¾ÕÀ¸·Î ALD ºÐ¾ß¿¡¼ ¸ÓÅ©¿Í Æø³ÐÀº Çù¾÷À» ÇÒ ±âȸ°¡ µÇ¾úÀ¸¸é ÇÑ´Ù"¶ó°í ¼Ò°¨À» ¹àÇû´Ù.
|