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ÇѾç´ë, ÃÊ°íÀ̵¿µµ IGZO ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß | |
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ÀÛ¼ºÀÚ : ÇѾç´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ(help@hanyang.ac.kr) ÀÛ¼ºÀÏ : 23.08.31 Á¶È¸¼ö : 110 | |
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¹Ú ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ÇöóÁ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹ý (PEALD)À» È°¿ëÇÏ¿© ¡®À¯»ç ´Ü°áÁ¤ ±¸Á¶ÀÇ IGZO »êȹ° ¹ÝµµÃ¼ ¹°Áú¡¯À» ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå ¿Âµµ (>1000oC) ´ëºñ ¸Å¿ì ³·Àº ¿Âµµ (200oC) ¿¡¼ ¼ºÀå½ÃÄ×´Ù. À̸¦ ÅëÇØ Á¦ÀÛµÈ »êȹ°¹ÝµµÃ¼(IGZO) Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼ÒÀÚ´Â ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Àü°è À̵¿µµ (> 100 cm2/Vs)¸¦ °¡Áö¸é¼µµ ¿°ú ¿ÜºÎ Àü°è¿¡ ´ëÇÑ ³ôÀº ¼ÒÀÚ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù. ¼ÒºñÀü·ÂÀ» ´ëÆø ³·Ã߸鼵µ ÃÊ°íÇØ»óµµ ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, ±âÁ¸ ¹°¸®Àû ÁõÂø¹ýÀÇ ÇѰ踦 ³Ñ¾î 3Â÷¿ø ±¸Á¶¿¡¼ 90% ÀÌ»óÀÇ µÎ²² ¹× Á¶¼º ±ÕÀϵµ¸¦ È®º¸ÇÏ¿´´Ù. ¹Ú ±³¼ö´Â ¡°º» ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ 3Â÷¿ø ±¸Á¶¿¡ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÑ ÃÊ°íÀ̵¿µµÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ ±â¼úÀ» È®º¸ÇÏ¿´´Ù¡±¸ç ¡°Â÷¼¼´ë µð½ºÇ÷¹À̻Ӹ¸ ¾Æ´Ï¶ó 3Â÷¿ø ÃÊ°íÁýÀû ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ßÀÇ ½Ç¸®ÄÜÀ» ´ëüÇÒ ¿øõ ±â¼úÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù.¡±°í ¹àÇû´Ù. À̹ø ¿¬±¸´Â »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ »ê¾÷±â¼úÇõ½Å»ç¾÷ ¹× »ï¼ºµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ÁøÇàµÇ¾úÀ¸¸ç, ¿¬±¸°á°ú´Â ¼ÒÀçºÐ¾ß ¼¼°èÀûÀÎ ÇмúÁöÀÎ ¡¸Small methods, (IF = 15.367)¡¹¿¡ 6¿ù ¹ßÇ¥µÇ¾ú´Ù.
ÇØ´ç ³í¹®Àº ÇѾç´ë ½Å¼ÒÀç°øÇаú ±èÀ±¼ ¿¬±¸ÀÚ (¹Ú»ç°úÁ¤)ÀÌ Á¦ 1ÀúÀÚ, »ï¼ºµð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀÓÁØÇü ¸¶½ºÅÍ°¡ °øµ¿±³½ÅÀúÀÚ·Î Âü¿©Çß´Ù.
¹ÚÁø¼º ±³¼öÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ¡®À¯»ç ´Ü°áÁ¤ IGZO »êȹ° ¹ÝµµÃ¼¡®ÀÇ ±¸Á¶/Àü±âÀû Ư¼º/3Â÷¿ø ±ÕÀϵµ À̹ÌÁö
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´ÙÀ½±Û | ¿ÀÇö¿Á ±³¼ö À̲ô´Â ¡®ÁöÅ©¸³Å䡯, ºí·ÏüÀÎ ¿Â¶óÀÎ ÅõÇ¥ È®»ê»ç¾÷ ½ÃÇà |
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